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測量機本身并不是測量基準，它的精度是靠其長度基準光柵尺、機械精度和軟件等綜合因素保證的，因此，用戶經常進行測量機的校驗和自檢是非常重要的。
一是采用塊規(guī)進行測量機重復性、三軸及空間測量不確定度的校驗；
二是采用英國RENISHAW公司生產的校驗規(guī)進行空間測量重復性和垂直度的校驗，具體校驗方法可在培訓中學習。
大型及重型零件在放置到工作臺上的過程中應輕放，以避免造成劇烈碰/撞，致使工作臺或零件損傷。必要時可以在工作臺上放置等高塊以防止碰撞；
被測零件在放到工作臺上檢測之前，應先清洗去毛刺，防止在加工完成后零件表面殘留的冷卻液及加工殘留物影響測量機的測量精度及探針、等高塊使用壽命；
在長時間沒有使用三坐標測量機時，在開機前應做好準備工作：控制室內的溫度和濕度(24小時以上)，在南方濕潤的環(huán)境中還應該定期把電控柜打開，使電路板也得到充分的干燥，避免電控系統(tǒng)由于受潮突然加電后損壞。然后檢查氣源、電源是否正常；
三坐標測量機使用空氣軸承，理論上是永不磨損結構，但是如果氣源不干凈，有油．水或雜質，就會造成空氣軸承阻塞，嚴重時會造成空氣軸承和氣浮導軌劃傷，后果嚴重。所以每天要檢查機床氣源，放水放油。定期清洗過濾器及油水分離器。還應注意機床氣源前級空氣來源，(空氣壓縮機或集中供氣的儲氣罐)也要定期檢查。
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